述职报告5



离子注入机简介

离子注入机的种类 中束流 ?A 大束流 mA 350D NV6200A NV10-80 NV10-160 NV10-160SD NV10-180
2
★62
  00、NV101
  60、101
  80、10160SD简介 、 、 、 简介 离子注入机按照真空系统分为三个部分 SOURCE BEAM LINE END STATION
3
各部分包括的控制器
SOURCE
FILAMENT ARC EXTRACTION ACCEL / DECEL SUPPRESSION
BEAM LINE
ANALYZER SUPPRESSION ACCELERATION Q-LENS X 、Y SCAN
END STATION
FARADAY SYSTEM END STATION CONTROL
6200
NV10160 NV10180 NV10160SD
FILAMENT ANALYZER ARC ACCELERATION VAPORIZER FLAG FARADAY SOURCE MAGNET SUPPRESSION EXTRACTION (HV)
DISK FARADAY
4
★ 离子注入的原理
离子源产生的离子在吸极电压的作用下形成 束流, 束流,以一定的速度进入分析器磁场后受到洛仑 磁力发生偏转,选出我们所需的离子, 磁力发生偏转,选出我们所需的离子,通过加速 高压的作用获得一定的能量, 高压的作用获得一定的能量,离子通过透镜的聚 焦后,以一定的扫描方式打入硅片。 焦后,以一定的扫描方式打入硅片。
5
★ 离子源的工作原理
当离子源的灯丝通过足够大的直流电流时, 当离子源的灯丝通过足够大的直流电流时, 灯丝受热后发射的热电子在ARC 电压、源磁场的 电压、 灯丝受热后发射的热电子在 共同作用下做螺旋状运动与工艺气体碰撞后,工 共同作用下做螺旋状运动与工艺气体碰撞后, 艺气体发生电离产生离子。 艺气体发生电离产生离子。
6
★ 质量分析器
洛仑磁力: 洛仑磁力: F=qvB R=mv/qB
带电粒子进入磁场受到力的作用后发生偏转。 带电粒子进入磁场受到力的作用后发生偏转。 11B+、 31P+、 40Ar+、 75As+、 121Sb+ 、 、 、 、 350D:先分析后加速。 :先分析后加速。 NV10
  80:先加速后分析。 :先加速后分析。
7
★ Q-LENS 静电四极透镜
静电四极透镜:对离子进行聚焦作用。 静电四极透镜:对离子进行聚焦作用。 加速后的离子在Q-LENS静电四极透镜的作用下被 静电四极透镜的作用下被 加速后的离子在 聚焦成较小的束斑。 聚焦成较小的束斑。
8
★ FARADAY SYSTEM
FARADAY的作用是测量束流,通过DOSE控制器 的作用是测量束流,通过 的作用是测量束流 控制器 精确地计量注入到硅片上的剂量。 精确地计量注入到硅片上的剂量。 BEAM SETUP:束流打在 :束流打在FLAG FARADAY IMPLANT:束流打在END STATION(350D) :束流打在 ( ) 束流打在DISK (NV10
  80) 束流打在 )
9
谢谢! 谢谢! 20
  06.
  8.2
10  

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